2-10 X線および真空紫外線照射を用いたMEMS振動発電器用エレクトレット荷電法(第2部門 情報ディスプレイ,マルチメディアストレージ,コンシューマエレクトロニクス,情報センシング)

萩原 啓; 鈴木 雄二

doi:10.11485/itewac.2011.0_2_10

セッションID: 2-10

DOI https://doi.org/10.11485/itewac.2011.0_2_10

会議情報

会議名: 2011年映像情報メディア学会冬季大会

開催地: 芝浦工業大学（豊洲キャンパス）

開催日: 2011/12/21 - 2011/12/22

2-10 X線および真空紫外線照射を用いたMEMS振動発電器用エレクトレット荷電法(第2部門情報ディスプレイ,マルチメディアストレージ,コンシューマエレクトロニクス,情報センシング)

萩原啓, 鈴木雄二

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抄録

We examined the charging characteristics of electrets using X-rays and vacuum UV irradiation for MEMS power generator. Surface potential increases as X-ray irradiation time and the charging rate varies for introduced gas species. VUV can form electrets within 2 sec due to the generation of large amount of ions/electrons.

責任著者(Corresponding author)

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