磁気記録評価装置用変位拡大機構の構造と制御の統合化設計

抄録

磁気記録評価装置用アクティブヘッドサスペンションの新しい機構を発案し，構造系と制御系の統合化設計法による最適設計を行った．構造系設計には，微小要素の厚さをパラメータとした位相・形状最適化法を用いて形状最適化を行い，制御系設計には，正規化規約分解に基づくループ整形設計手法を適用し，ロバスト最適化を行った．