MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの開発

金 俊完; 吉田 和弘; 国府田 くみ子; 横田 眞一

doi:10.11511/jacc.50.0.20.0

第50回自動制御連合講演会

セッションID: 120

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.50.0.20.0

会議情報

主催: 日本機械学会, 計測自動制御学会, システム制御情報学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 42の学会，協会などから協賛

ＯＳ５　アクチュエータ

MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの開発

*金俊完, 吉田和弘, 国府田くみ子, 横田眞一

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キーワード: フレキシブルマイクロアクチュエータ, ER流体, MEMS技術

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抄録

フレキシブルERマイクロアクチュエータの主要要素となるMEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロバルブ(以下，FERV)を提案，試作し，その特性を実験的に検討した．さらにこの3ポートFERVとゴムベローズを結合してフレキシブルERマイクロアクチュエータを実現し，静特性，動特性などの基本特性を検討した．

責任著者(Corresponding author)

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