機器組み込みのための小型AMD除振装置の開発

抄録

　近年，プローブ顕微鏡や電子顕微鏡などの超高分解能測定機器は小型化と低価格化が進み，その使用範囲が広がっている．この結果，これらの機器を様々な環境で使用したいという要望が出るようになった．しかし，機器の性質上，設置環境からの振動絶縁は非常に重要であるため，高性能除振機構が必要不可欠となる．本研究ではこれらの超高分解能測定機器への適用を目指して除振機能を持つアクティブ動吸振器の開発を行った．