SEM像とEBSPから得られた結晶方位との関係が正しくない場合があるという問題が指摘されている。我々は、この問題の対応策の検討を行い、正しい方位関係は、先に述べた取得後のデータ・画像を変換する方法、多くの場合はSEM像を紙面に垂直に180度回転、以外に、EBSP取得時にサンプル傾斜方向・検出器方向のパラメーターを正しく入れることによっても、得られることがわかった。我々が提案するSEM像とEBSDで得られる方位を一致させるサンプル傾斜方向・検出器方向のパラメーター（Sample tilt, Detector orientation）は、通常の反射法によるEBSD法において、 Sample Tilt (degree)= -70 Detector Orientation (degree) = (180,90(102),0) である。
