異方性基板上の弾性表面波用薄膜ホーンの解析

抄録

異方性圧電基板上の薄膜ホーンを伝搬する弾性表面波を解析する方法について述べる。解析法は, ホーンの置かれた伝搬路を波長より短い伝搬距離区間に分割し, 各区間ごとに表面波の振幅を求めるものである。各区間の表面波は, 金属膜がある場合と自由表面の場合のASPW(angular spectrum of plane waves)表現式の和で表されると仮定している。この方法の有用性を確認するために, 128°rot Y-X LiNbO_3基板上の直線状テーパホーンの伝達特性を数値計算し, 実験結果と比較した。実験により求めたスローネス曲線を用いて計算した伝達特性は, 実験結果とよく一致する。