電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成16年度電気関係学会九州支部連合大会（第57回連合大会）講演論文集
セッションID: 04-1P-04
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主催: 電気関係学会九州支部連合会

結晶Siナノ粒子内の欠陥の評価
*白谷 正治, 掛谷 知秀, 古閑 一憲, 渡辺 征夫
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キーワード: プラズマ理工学, 半導体・電子デバイス
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