Si及びSiO<sub>2</sub>上における強磁性体シリサイドFe<sub>3</sub>Siの形成と評価

電気関係学会九州支部連合大会講演論文集

平成16年度電気関係学会九州支部連合大会（第57回連合大会）講演論文集

セッションID: 05-2P-07

DOI https://doi.org/10.11527/jceeek.2004.0.314.0

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主催: 電気関係学会九州支部連合会

Si及びSiO₂上における強磁性体シリサイドFe₃Siの形成と評価

*竹内悠, 権丈淳, 佐道泰造, 宮尾正信

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キーワード: 半導体・電子デバイス

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