高気圧沿面放電による窒化シリコン膜のエッチング

電気関係学会九州支部連合大会講演論文集

平成19年度電気関係学会九州支部連合大会（第60回連合大会）講演論文集

セッションID: 06-2P-09

DOI https://doi.org/10.11527/jceeek.2007.0.473.0

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主催: 電気関係学会九州支部連合会

高気圧沿面放電による窒化シリコン膜のエッチング

荒川純一, 濱田俊之, 六田朋美, 近藤龍治, 迫田達也

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キーワード: プラズマ理工学, 放電・高電圧・パルスパワ・静電気, 電気電子材料

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