有限要素法を用いたダクト内の音場解析の基礎的検討

抄録

クリーンルーム内で行われる精密測定では、空気のゆらぎによる低周波ノイズが発生することが実測により明らかになっている。この空気のゆらぎはクリーンルームに取り付けられたダクトから生じていることが予想されているが、その実測値の物理的説明が十分になされていない。そのため、実測により得られたクリーンルーム内の低周波領域の音の周波数スペクトルを有限要素法を用いた音場解析により再現することを目的とし、ダクト内の音波伝搬解析を行うとともに、ダクト形状が音波伝搬に及ぼす影響を検討したので報告する。