高感度傾斜角センサ作製における金属薄膜形成プロセスの改善

抄録

本研究室では、水晶の異方性エッチング特性を利用した高感度傾斜角センサを開発している。開発した傾斜角センサは、傾斜角0.001°の高分解能を持ち、更に水晶の異方性エッチング特性を用いたウェットエッチングにより、高アスペクト比を有している。しかし、高アスペクト比加工を施しているため、電極側面に対して一様に金属薄膜を形成することが難しく、センサ作製の際に歩留まり率低下の要因となっていた。本研究では、歩留まり率を向上させた傾斜角センサの量産化プロセス確立のために、電極形成にアニーリング処理を活用した作製プロセスを開発し、従来のプロセスで作製したセンサとの比較を行った。