フラックスゲート磁気センサの小型・高感度化に向けた磁性アモルファスワイヤ作製装置の開発

抄録

本研究ではフラックスゲート磁気センサの小型化・高感度化に向けて、現在コアに使用されているアモルファス薄帯に代わるアモルファスワイヤの作製及び大線径化を行う。それを実現するためにはアモルファスワイヤの作製に必要な装置を開発して、アモルファスワイヤ作製環境を整える必要がある。本発表では、アモルファスワイヤ作製装置の開発及びアモルファスワイヤの試作結果について、また装置の改善点について報告する。