フレキシブルなAZO/Ag/Cu/AZO多層型透明導電膜の特性改善

抄録

現在，酸化インジウムスズ（ITO）の代替材料として酸化亜鉛（ZnO）を用いたフレキシブルな透明導電膜に関する研究が行われている．著者らは， Al doped ZnO（AZO） と銀（Ag）を用いた多層型の透明導電膜に着目し成膜を行った．しかし、基板側でのAg層への酸素（O）の拡散が見られ，薄膜の特性に悪影響を与えていた．そこで、基板側のAg層とAZO層の間に中間層として銅（Cu）を用いた多層型の透明導電膜に着目した．本研究では，AZO/Ag/Cu/AZO構造の透明導電膜をPEN基板上に成膜した．Cu成膜時の成膜条件を変化させ，電気的・光学的特性の検討を行った．その結果，基板側のAZOとAgの間にCuを製膜することで電気的特性の改善を実現できた．現在，さらなる特性改善に向け，検討中である．