電気めっきで作製したFe-Ni薄膜の磁気特性

抄録

電力変換回路で用いられる磁性デバイスの小型化には、駆動周波数を増加させることが有効であるが、駆動周波数の増加は渦電流損失の増大を招くため、その対策が必要となる。本研究室では、これまでにクエン酸をベースとするめっき浴から優れた軟磁気特性を有するFe-Ni系厚膜を作製し、それを薄帯状試料として利用することを提案してきた。本稿では、十kHz～数MHz帯域で動作する変圧器やインダクタへの応用を想定し、厚さ20 µm以下のFe-Ni系薄帯を作製し、磁気特性を評価したのでその結果を報告する。