テラヘルツ帯オンチップスロットアンテナの開発

抄録

テラヘルツ波は空間分解能と物質透過性が高く、テラヘルツ周波数帯で吸収スペクトルを持つ物質が存在することから、非破壊・非接触で検査をするイメージングデバイスに用いることに適している。現在開発されている整流型検出器を用いたイメージングデバイスはテラヘルツ帯で検出感度が低いという課題がある。そこで、本研究ではテラヘルツイメージングのための高利得で広帯域なスロットアンテナを設計した。アンテナの裏面にフローティングメタルを配置することで単方向指向性を確保し、アレイ化することでカップリングにより広帯域化を行った。45nmSOIプロセスを用いてアンテナを試作し、測定を行ったので報告する。