高速スパークギャップスイッチ内の放電観測およびそのインピーダンス評価

抄録

非熱平衡プラズマは,オゾン生成や水処理などの環境分野での応用が期待され,なかでもナノ秒パルス放電生成プラズマは,高いエネルギー効率を示している.先行研究において,ナノ秒パルス電源の低インピーダンス化を図ることで出力電流を4倍まで増加させることに成功し,更なる大容量処理の実現に近づいた.一方,パルス電圧立上りの更なる高速化が必要となり,そのためにはスパークギャップスイッチの低インピーダンス化が課題である.そこで本研究では,スイッチング時の放電を観測し理論評価するで,高速スパークギャップスイッチの最適条件の特定を行った.