Tb/Co積層膜の磁気特性評価

抄録

TbCoは大きな垂直磁気異方性を持つ物質として知られており、近年盛んに研究が進められているSpin-orbit torque(SOT)などの磁気特性を観測する際に、材料としてよく用いられている。そのため、その組成や膜厚を最適化することは極めて重要である。しかしその磁気特性は膜作成時のパラメータに依存しており、例えば、TbとCoの組成比によって、観測されるヒステリシスループが大きく変化することが明らかになっている。ここでは、スパッタ法にて製膜した 積層構造のTbCo薄膜を用いて、膜厚や積層回数を変化させた場合における、ヒステリシス特性の膜厚比依存性を調べた。その結果、膜厚や積層回数の変化は、保磁力や飽和磁化などの磁気特性に影響を及ぼすことが分かった。