点電極とシース状バリアを併用した誘電体バリア放電におけるプラズマ局所窒化処理実験

抄録

鋼の耐摩耗性や耐疲労性，対食性など機械特性向上を目的として窒化処理技術が用いられており，我々は新しい窒化法として大気圧プラズマを用いた窒化法の研究を行なっている．本研究では，対向電極に点電極，バリアに点電極を覆う形状であるシース状バリアを用いて誘電体バリア放電(Dielectric Barrier Discharge，DBD)での鋼の局所窒化処理を目的とし，放電観測，換算電界の計算，窒化処理実験を行った．結果として，約250 µm幅の超局所窒化に成功し，深さも約60 µmまで硬化しているのが確認できた．また，プラズマ照射箇所の表面では硬度1000 HVを超える箇所も存在した．