ZrをパターンニングしたSrTiO₃基板上に形成したREBa₂Cu₃O_y薄膜の臨界電流特性

抄録

近年，REBa₂Cu₃O_y（RE：希土類元素）線材の交流損失低減を目的とした細線化が進められている。我々は金属（Zr，Nb等）をパターニングしたSrTiO₃基板上にREBa₂Cu₃O_yを成膜し，金属領域で超伝導層を分離する手法に取り組んでいる。今回，スリット幅2 μmのマスクパターンを用いてZrを形成し，その後，REBa₂Cu₃O_yを成膜した試料の臨界電流特性を調べるために，走査型ホール素子磁気顕微鏡による面内臨界電流密度分布測定並びに物理特性測定システムによる直流磁化測定を行ったので，その結果について報告する。