白色干渉法による岩石薄片試料の多層厚さ自動計測に向けた基礎的検討

抄録

地質学研究において必要不可欠な岩石薄片試料の作製には、偏光顕微鏡下での鉱物の色の観察により厚さを判定し、手研磨にて調整する熟練技術が必要である。しかしながら、国内外で専門技術者が減少しており、技術伝承が困難になりつつある。そのため、薄片作製を自動化することが必要とされ、多層構造を持つ薄片の目視に頼らない厚さ計測も課題のひとつとなっている。そこで本研究では、白色干渉法を用いた多層厚さ計測の自動化を目的とする。基礎的な実験の結果、スライドガラス間に空気層を持つ３層多層物体の各層の厚さ計測に成功した。この結果は、本手法が岩石薄片試料の多層厚さ計測の自動化に応用可能であることを示している。