抄録
自動露光装置の位置精合方式において, 「整合部」と「露光部」とが独立し, 両部問を精密搬送系により座標連結された構造の「外合わせ方式」と, また「整合部」と「露光部」とが同一部位に配置された「内合わせ方式」とがあり, 「外合わせ方式」は, 高速生産が可能である反面, 高精度な位置合わせ精度とその維持能力に欠け, また「内合わせ方式」は, 高精度な位置合わせは可能なものの, 高速生産能力に欠ける。これら両方式の欠点を完全に解決し, 高精度な位置合わせと高速生産を可能にした露光システムにおいて, その概念の解説と応用例を述べ, フォトマスクの仮想原点座標をフィードバック補正する位置整合機能と, そのアルゴリズムについて, 生産工場における環境変化に対する位置整合精度と維持特性の観点より報告する。
