27pC3 アルゴンスパッタ非晶質Si膜の固相エピタキシ過程のSTM観察(気相成長III)

日本結晶成長学会誌

Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275

27pC3 アルゴンスパッタ非晶質Si膜の固相エピタキシ過程のSTM観察(気相成長III)

植杉克弘, 吉村雅満, 八百隆文

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1993 年 20 巻 2 号 p. 112-

DOI https://doi.org/10.19009/jjacg.20.2_112

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© 1993 日本結晶成長学会

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