日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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ボロン添加シリコン融液の蒸発量
前田 進加藤 正樹安部 啓成中西 秀夫寺嶋 一高
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1997 年 24 巻 2 号 p. 81-

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抄録

The weight variations of the borondoped silicon meIt due to the evaporation was measured. It was suggested that boron assisted the evaporation of the silicon melt when the temperature of silicon melt was high(> 1500℃). Oxygen transport mechanism in the borondoped silicon melt and the role of the boron will be discussed based on our experimental results.

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© 1997 日本結晶成長学会
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