北海道大学大学院工学研究院
2011 年 37 巻 4 号 p. 304-309
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酸化ガリウムを600〜1000℃の高温でアンモニアガスによって窒化すると,窒化ガリウムが得られる.著者らは出発試料である酸化ガリウム粉末に窒化ガリウム粉末もしくはアルミナ粉末を加え,アンモニアで窒化することで窒化ガリウムのナノ粒子もしくはナノロッドが生成することを見いだした.本稿ではアンモニアによる酸化ガリウムの窒化機構について解説し,ナノ粒子とナノロッドの作製法を紹介する.
