産業応用工学会論文誌
Online ISSN : 2187-5146
Print ISSN : 2189-373X
ISSN-L : 2187-5146
論文
半導体外観検査装置における検査画像中の予期せぬ異常の検出
脇迫 仁佐藤 孝彦
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ジャーナル オープンアクセス

2018 年 6 巻 1 号 p. 44-50

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抄録

This paper describes the visual inspection of unexpected accidents in inspection images. Unexpected accident such as time deterioration of LED lights can cause misjudgement in visual inspection system. It leads big material loss, if the system can't detect the accident. So the accidents must be found online. In this paper, we propose image processing method to find unexpected accidents for various visual inspection system.

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© 2018 一般社団法人 産業応用工学会
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