精密機械
Print ISSN : 0374-3543
真空技術の極限
小野 雅敏
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1985 年 51 巻 1 号 p. 93-97

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抄録
真空技術の現状と問題点の大要,ならびに真空技術の進展方向についての考え方などを紹介する.
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© 社団法人 精密工学会
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