超精密加工と高精度光干渉計測法

抄録

高精度干渉測定法の最近の進歩について述べた.レーザの使用と計算機データ処理を利用した新しいしま情報処理技術の発展により加工面の形状精度と面精度の測定が飛躍的に向上した.これらの計測面の発展が超精密加工技術の新たな進歩に寄与することが期待される.