フェムト秒パルスレーザを用いたナノ配線内部の微小欠陥検出

溶接学会誌

Online ISSN : 1883-7204
Print ISSN : 0021-4787
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フェムト秒パルスレーザを用いたナノ配線内部の微小欠陥検出

長久保白

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キーワード: エレクトロマイグレーション, フェムト秒パルスレーザ, 超音波, 欠陥, 非破壊検査

ジャーナル認証あり

2026 年 95 巻 2 号 p. 70-73

DOI https://doi.org/10.2207/jjws.95.70

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