8a-S-12 圧電素子-光音響分光法(P-PAS)を用いた, シリコンの熱処理に伴うサーマルドナー形成の評価

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 8a-S-12

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.52.2.2.0_113_1

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8a-S-12 圧電素子-光音響分光法(P-PAS)を用いた, シリコンの熱処理に伴うサーマルドナー形成の評価

原山誠, 吉野賢二, 福山敦彦, 横山宏有, 前田幸治, 碇哲雄

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