シリコン表面の角度分解非弾性散乱分光

抄録

角度分解光電子分光の光電子放出過程で、光励起された電子が表面の分子振動や格子振動にエネルギーを与え、振動エネルギー分エネルギーを損失して放出される過程が銅などの金属表面で観測されている（荒船ら）。我々は今回シリコン表面の角度分解光電子分光データに同種の信号を見出したので報告する。観測された非弾性散乱ピークの特徴から非弾性散乱過程はバックボンドに存在する酸素の非対称伸縮振動に起因する非弾性散乱であると考えている。