日本物理学会講演概要集. 年会
Online ISSN : 2433-1112
セッションID: 28a-YX-13
会議情報
28a-YX-13 パルスECR励起マグネトロン・スパッタリングにおけるプラズマ電位制御
秋津 哲也, 宮下 大幸, 助川 俊光, 中前 征司, 松沢 秀典
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© 1995 一般社団法人 日本物理学会
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