日本物理学会講演概要集. 秋の分科会
Online ISSN : 2433-1171
セッションID: 4a-YG-11
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4a-YG-11 酸化雰囲気でのシリコン中の置換型不純物拡散と積層欠陥の解析
沖野 隆久
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© 1994 一般社団法人 日本物理学会
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