秋の分科会予稿集
Online ISSN : 2433-118X
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4a-M-6 Micro-Probe RHEED法による絶縁膜上での単結晶Siの成長過程の観察
土井 隆久, 市川 昌和, 宮尾 正信, 茂庭 昌弘, 石坂 彰利
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p. 446-

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© 1984 一般社団法人 日本物理学会
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