成膜時のO<sub>2</sub>/(Ar+O<sub>2</sub>)比がInZnMgO:Al透明導電膜に与える影響について

「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（日本太陽光発電学会学術講演会）予稿集

Online ISSN : 2436-6498

第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（第3回日本太陽光発電学会学術講演会）（2023年）

セッションID: PC-17

DOI https://doi.org/10.57295/jpvsproc.3.0_90

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主催: 日本太陽光発電学会

成膜時のO₂/(Ar+O₂)比がInZnMgO:Al透明導電膜に与える影響について

米田拓未, Ergashev Bobur, 根上卓之, 河野悠, 峯元高志

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