Journal of Surface Analysis
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連載(講義)
電子光学入門
-電子分光装置の理解のために- (第10回)
嘉藤 誠
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2007 年 14 巻 2 号 p. 131-159

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抄録

 電子分光装置において,インプットレンズ系によって電子を減速させてからアナライザに取り込むことで,エネルギー分解能を向上させることができます.電子ビームの減速は一般には感度の低下を伴い,これは輝度法則によって説明がなされます.しかし,分析の対象が点光源である場合,輝度の概念は意味を失い,かわりにインプットレンズ系の球面収差が感度を支配します.今回は,分解能と感度の減速率依存性,およびその光源サイズによる違いに関して議論します.

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© 2007 一般社団法人 表面分析研究会
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