Journal of Surface Analysis
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連載(講義)
電子光学入門
-電子分光装置の理解のために- (第11回)
嘉藤 誠
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2008 年 14 巻 3 号 p. 243-266

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抄録

 電子光学装置の空間分解能は,電子の波動性に由来する理論的な限界を有します.この効果は回折収差と呼ばれ,短波長の極限でのみ有効な幾何光学を補うものです.今回は回折理論をもとに球面収差と色収差が空間分解能に及ぼす影響を議論し,また空間周波数フィルタとしての光学系の働きをアッベの結像理論にもとづいて考察します.

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© 2008 一般社団法人 表面分析研究会
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