抄録
TOF-SIMS の最大の特長は高空間分解能を活かしたイメージングにあり，非常に高精細で高感度な元素や分子種のイメージを提供できる唯一の表面分析手法である．しかしながら，汎用の TOF-SIMS 装置は，平坦な試料を前提としており，ワイヤや球など湾曲した試料では，非常に限られた一部の領域しか観察することができない．そのため，これまでワイヤや球状試料表面に存在する成分の正確な分布を議論することが困難であった．この問題を解決するために，いくつかの方法が提案されているが，いずれも欠点があった．そこで，著者らは湾曲した試料全面のイメージングを目的とした試料ホルダーの開発を行ってきた．その結果，従来に比べ， 観察可能な領域を大きく拡大することに成功した．本稿では，曲面観察用試料ホルダーの詳細と，ホルダーの評価を行った結果について議論した後，応用事例を紹介する．
