真空エレクトロスプレー液滴イオンビームの現状と TOF-SIMSでの応用に向けた取組

抄録

真空下で水溶液をエレクトロスプレーすることによって発生させた真空エレクトロスプレー液滴イオン（V-EDI）ビームを表面分析装置におけるイオン化やエッチングに利用するための研究開発を行っている．V-EDIビームは有機分子を極めて高い効率でソフトにイオン化できるため，飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）に応用できれば，その分析性能は大幅に向上することが期待できる．しかしながら一般的なTOF-SIMS装置では一次イオンビームを短パルス化することが必須であるため，短パルス化できないV-EDIビームはこれまでTOF-SIMS装置において実用的に利用できていない．本稿ではTOF-SIMS応用に向けたV-EDIビームの現状と課題およびビームの短パルス化に向けた試みについて紹介する．