環境制御光電子分光の最前線

抄録

光電子分光法は，物質表面の化学状態を観測する手法の一つである．気体中では装置の放電や劣化といった不具合が生じやすく，またX線の吸収や気体分子との光電子の衝突により信号強度が減衰するという理由から，従来は超高真空中での測定が主となっていた．しかし，試料の環境を超高真空ではなく，より実際の動作環境に近い雰囲気下にて光電子分光測定を実施したいとのニーズの高まりとともに，測定技術は飛躍的に進化を遂げている．本稿では試料周りを大気圧環境下においても光電子分光測定を可能とする最新の光電子分光技術とその事例を紹介する．