抄録
本文は機械、設備、器具などを構成する部品の精密加工及び超精密加工に焦点をあわせ、現状と問題点について解説したものである。まず、近年における超精密加工技術へのニーズについて科学技術の面からの強い要請のあることを述べた後、機械・電子・光学部品の代表例を紹介する。続いて、超精密加工を実現する代表的な加工法を列挙し、とくに、超精密ダイヤモンド加工機によってセラミックスを加工した例について若干のデータを示す。すなわち、単結晶ダイヤモンド工具を用いると最大仕上面あらさは0.05μm程度で鏡面を得ることができる。その後、到達司能精度の趨勢について述べる。最後に、現在かかえている技術開発課題と進捗しつつある大型プロジエクトについて概観する。
