電気泳動法による強誘電体BaTi<sub>2</sub>O<sub>5</sub>厚膜の作製と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-TR-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1190

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

電気泳動法による強誘電体BaTi₂O₅厚膜の作製と評価

*西村和浩, 島宏美, 李鳳淵, 飯島高志, 中嶋宇史, 岡村総一郎

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キーワード: 18a-TR-7, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 電気泳動法, 二チタン酸バリウム

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