易分解性前駆体を用いたBST誘電体膜のモフォロジーおよび電気特性制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-TR-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1191

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

易分解性前駆体を用いたBST誘電体膜のモフォロジーおよび電気特性制御

*渡辺敏昭, 桜井英章, 曽山信幸

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キーワード: 18a-TR-8, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, BST, capacitor, tunability

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