酸素イオンアシスト反応性蒸着法によるTiO<sub>2</sub>膜の結晶化促進法の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17a-TQ-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1298

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

酸素イオンアシスト反応性蒸着法によるTiO₂膜の結晶化促進法の検討

*佐藤紀幸, 石原太樹, 望月翔平, 飛坂真幸, 上栗賢人, 星陽一

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キーワード: 17a-TQ-10, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, TiO2, 結晶

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