エミッタ温度を変化させた場合の真空一貫エミッタ作製評価法及び大気曝露下における転写モールド法Ni-FEAの電界電子放出特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17a-ZA-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1669

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

エミッタ温度を変化させた場合の真空一貫エミッタ作製評価法及び大気曝露下における転写モールド法Ni-FEAの電界電子放出特性

*衛藤和久, 文宗鉉, 白鳥硬次, 中本正幸

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キーワード: 17a-ZA-11, ビーム応用, 微小電子源, 転写モールド法Ni-FEA

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