「講演奨励賞受賞記念講演」二層膜を用いた直立薄膜電子源の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-ZA-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1670

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

「講演奨励賞受賞記念講演」二層膜を用いた直立薄膜電子源の作製

*吉田知也, 長尾昌善, 清水貴思, 金丸正剛

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キーワード: 17p-ZA-1, ビーム応用, 微小電子源, イオン照射, 薄膜, 微小電子源

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