酸素によるアモルファス炭素膜の酸化過程

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-ZC-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1734

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

酸素によるアモルファス炭素膜の酸化過程

*河上貴聡, 川副大樹, 稲吉孝紀, 原幸二郎, 篠原正典, 松田良信, 藤山寛, 新田祐樹, 中谷達行

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キーワード: 17p-ZC-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, アモルファス炭素薄膜, プラズマプロセス, 酸化

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