メタンプラズマ下流域における中性化学種のLi<sup>+</sup>付着質量分析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-ZC-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1733

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

メタンプラズマ下流域における中性化学種のLi⁺付着質量分析

*古屋謙治, 井手章博, 原田明

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キーワード: 17p-ZC-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, メタンプラズマ, リチウムイオン付着, 質量分析

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