基板往復移動機構を備えたSWP-CVD 装置

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 20a-ZB-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1778

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

基板往復移動機構を備えたSWP-CVD 装置

*上野智子, 鈴木正康, 小西善之, 東和文, 石田進一郎

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キーワード: 20a-ZB-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜･表面処理, 移動成膜, 表面波プラズマ

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