準バリスティック輸送high-k MISFETにおける低電界移動度と高電界ｷｬﾘｱ速度との定量的な相関関係

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 19a-P11-21

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2811

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

準バリスティック輸送high-k MISFETにおける低電界移動度と高電界ｷｬﾘｱ速度との定量的な相関関係

*辰村光介, 後藤正和, 川中繁, 木下篤寛

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キーワード: 19a-P11-21, 半導体A（シリコン）, 絶縁膜技術, high-k, mobility, velocity

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