ポリカーボネート基板上における多結晶シリコン薄膜の成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-D-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2916

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

ポリカーボネート基板上における多結晶シリコン薄膜の成長

*河本直哉, 小野雄平, 半田哲也, 今村哲也, 三好正毅

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キーワード: 18a-D-11, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, ポリカーボネート, 多結晶シリコン

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